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半導體無塵室設計權威 北科大講座教授胡石政 榮獲國家產學大師獎

半導體無塵室設計權威 北科大講座教授胡石政 榮獲國家產學大師獎

北科大講座教授胡石政為國內外晶圓製程汙染控制的權威。
北科大講座教授胡石政為國內外晶圓製程汙染控制的權威。
蔡英文總統(左)頒發國家產學大師獎予北科大講座教授胡石政。(截圖自教育部頒獎典禮直播影片)
蔡英文總統(左)頒發國家產學大師獎予北科大講座教授胡石政。(截圖自教育部頒獎典禮直播影片)
北科大講座教授胡石政(前排左三)與研究團隊合影。
北科大講座教授胡石政(前排左三)與研究團隊合影。
頒獎典禮現場,總統和與會獲獎人合影(取自總統府網頁)
頒獎典禮現場,總統和與會獲獎人合影(取自總統府網頁)

轉載自經濟日報2023.04.17

護國神山的最強後盾!半導體製程中容不下一粒沙,北科大講座教授胡石政三十多年來投入「潔淨室與高科技廠房設施」研究,與30家廠商建立產學合作技術聯盟,為國內外晶圓製程汙染控制的權威,對於提升國內半導體產業競爭力貢獻卓著,今(17)日獲頒教育部國家產學大師獎。

細數這十年,胡石政為學校帶進的產學合作收入、技轉及專利衍生金等,總計超過2億元。其中最成功的產學合作案,當屬他與台積電合作的晶圓微小汙染控制的解決方案,其專利改善了傳統晶圓載具的缺點,提昇產品良率,成為高階半導體製程的標準設備,不僅獲英特爾、美光採用,更推進到台積電在亞利桑那州的新廠。

原來,台灣的半導體設備多半仰賴國外進口,但進口設備很難確切符合實際製程需求。他領導北科大「潔淨技術研發中心」和前瞻技術總部「半導體廠務與製程設備研發中心」,在潔淨控制領域上不斷精進研發、推陳出新,技術獨步全球,協助台灣當地廠商因地制宜,有能力就近提供設備及服務,成為產學合作技術轉移的典範,為廠商開拓新的商業模式。

胡石政同時為美國冷凍空調工程師協會(ASHRAE)會士,也是該會《潔淨室設計手冊》主要撰寫人,2017年發行至今每年更新,已成為國際上此領域的「聖經」級工具書。所學所用無不將流體力學發揮到極致,然而,他與流體力學的結緣卻是「誤打誤撞」。

四十五年前,15歲的胡石政隨父親從台中北上,到臺北工專(北科大前身)現場登記分發,「學校簡介從機械工程科開始,我就把這科登記為第一志願。」流體力學是機械科的專業必修,例如研究風扇如何轉動空氣,進而用很精確的儀器去量測微觀的流體參數。

他越讀越有興趣,再赴美國奧本大學取得機械工程碩士,回台進入工研院擔任研究員。躬逢九○年代半導體產業起飛,台積電第一條生產線就設在工研院內,他開始投入潔淨室設計及半導體製程服務,六年後赴英國利物浦大學攻讀博士,1998年回到母校能源與冷凍空調工程系任教。

胡石政謙稱,十多年前升教授以後,才漸漸看到研究的全貌,「工科應該經世濟民,為什麼不把研究的idea接到市場去?」因此投入專利開發,為企業研發並提供服務,力尋研究的出海口,十三年來連年榮獲北科大特殊優秀研究人才獎。

堅不應酬、心直口快的他,坦言吃過虧。曾有一家美國五百大公司找律師跟他談,想盡辦法規避他的專利,自行商品化;現在他學會鞏固專利,「專利寫得很清楚,文章發表得很多,只要在相關設備領域,一定會找到我的名字。」

年少時就在工研院一起打籃球,相識超過三十年的北科大能源系教授施陽正觀察:「產學合作的成功,需要時間的歷練。」從工研院開始,胡石政專注在無塵室、半導體這塊領域已經三十多年,一方面非常勤勞跑園區,了解廠商的需求,另一方面他在專業領域的耕耘,會吸引優秀的學生願意跟著學,形成強大的研發團隊,這不是一蹴可成的。

在校外,胡石政定期舉辦潔淨室技術短期訓練課程超過十年,培育超過2,500學員人次;在校內,他指導的碩博士生超過140人,上百位學生進入高科技業擔任廠務工程師,近幾年更與日本芝浦工業大學合作櫻花科技計畫,雙邊互相薦送10位研究生跨海研修交流,增進學生的國際視野和外語能力。

在全球ESG趨勢下,胡石政正在開發可再生利用的化學濾網,希望再生百次以上仍能擁有同樣效能,將是大幅減少廢棄物、降低碳排放,對環境友善的革命性產品;同時,希望已獲專利的微粒及氣流大面積可視化技術,能夠發揮更大的應用價值。與科技業長遠且深入的產學合作,為關鍵產業奠定立足全球的競爭力,這正是「學以致用、經世濟民」的典範。

https://money.udn.com/money/story/5723/7103584

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