跳到主要內容區
電子系胡心卉教授整合跨校團隊 獲研發服務平台亮點成果獎特優

電子系胡心卉教授整合跨校團隊 獲研發服務平台亮點成果獎特優

好

賀!北科大電子工程系胡心卉教授整合陽明交通大學、成功學共同組成的研究團隊,榮獲國家實驗研究院「研發服務平台亮點成果獎」特優獎,抱走獎金30萬元。

特優獎團隊的研究成果是「異質氧化銦鎵鋅/矽互補式場效電晶體之積層型三維整合於靜態隨機存取記憶體與射頻之應用」,所使用的研發服務平台是台灣半導體研究中心(半導體中心)的「先進半導體製造與高頻量測技術服務」。

團隊係使用半導體中心所提供之無塵室設備與研發平台,製作出新穎之上下異質疊層(下層為p型複晶矽薄膜電晶體,上層為n型氧化銦鎵鋅薄膜電晶體)之異質通道垂直堆疊互補式電晶體(CFET),並將其應用於反相器與6T靜態隨機存取記憶體(SRAM)。此技術可整合至低於1奈米製程,且因具有低漏電特性,可降低功耗;上層通道之氧化銦鎵鋅更可延伸應用於製作積層型電路之射頻元件。此成果展現了能將不同通道材料及多種功能元件以一體化製程整合於同一基板上,完全實現未來對於系統整合型面板(SoP)之需求。

為表彰產官學研各界使用國研院的研發服務平台做出頂尖科研成果,國研院徵選「研發服務平台亮點成果獎」,希望藉由評選頒發「研發服務平台亮點成果獎」,鼓勵國內學研界更踴躍與國研院合作,使用以國家力量建構的研發服務平台,做出具有全球競爭力的研發成果。

更多資訊請見國研院網站連結

瀏覽數:
加到我的最愛